恆暘股份有限公司(Everbliss Green)は、半導体製造プロセス装置の研究開発、設計、製造に注力し、製品設計サービスも提供しています。同社は、前工程のウェーハ製造プロセス装置からなる一連の生産ライン設備から、後工程のパッケージング関連用途の装置製造、およびICパッケージング金型のカスタマイズ設計に至るまでのサービスを提供しています。長年にわたり優れた評価を蓄積してきたアフターサービスにより、現在、恆暘は数多くのグローバルブランド顧客の戦略的提携サプライヤーとなっています。

恆暘Everbliss Greenが研究開発・設計したフォトリソグラフィ一貫機（インラインシステム）は、半導体ウェーハ製造工場向けに特別に提供される一連の生産ライン設備です。本設備は、ローダー（材料投入）から、フォトレジスト塗布、ソフトベーク、露光機、現像、ポストベーク、裏面コーティング、ハードベーク、そしてカセット式アンローダー（材料排出）に至るまでのプロセス設備を連携して動作させ、順序に従って連続的な一貫生産を行うことで、フォトリソグラフィ工程全体の完全自動一貫生産稼働を実現しています。これは前工程のフォトリソグラフィ工程における重要な中核設備であり、その独自の強みは、手作業の削減、製品不良率の低減、環境浄化コストの節約、安定的かつ高効率な生産能力にあります。これにより、ウェーハ工場に対して高い生産性と優れたコストパフォーマンスを誇る省エネ型の運営・生産方式を提供します。