原子精製股份有限公司
更新日期：2026/08/06
主要應用領域
主要應用領域
Science and Engineering
產品/服務
Powder ALD 系統、PEALD 模組與傳輸平台、客製化製程系統設計與製造
成立年份
2023
統一編號
82969941
公司狀態
營運中
負責人
莊明岳
團隊人數
15
實收資本額
11,810,000 (元/新臺幣)
註冊地址
南部科學園區臺南市新市區創業路18號3樓
網站連結
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公司簡介
公司專注於原子層沉積（ALD）設備與真空電漿技術的開發，產品廣泛應用於半導體、光電與先進封裝等高科技產業。為提升多片式 ALD 設備的量產效能，原子精製透過 Hollow Cathode Discharge (HCD) 電漿技術與氣旋式前驅物注入技術，成功突破傳統鍍膜技術的限制，實現 ALD 設備大面積化應用，進一步提升製程效率與產品競爭力。
